某半导体设备集成块手工生产商在晶圆制作的过程 中,的使用硅烷去硅外加发育,空气洗衣机清洗塔生产高溶液浓度含硅废渣治理办法。废渣治理办法都具有pH动荡大(2-11)、硅分量高的基本特征,传统性治理办法易展现硅垢堵住了问题。
化工废水材料及主要来源
废气基本化学成分为:
降解性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
磷酸/氢氧化反应钠
:洗衣机清洗塔耐酸碱洗衣机清洗液余留
顆粒硅
:微米级SiO₂悬浊液
痕量砷
:材质其它杂物带
加工方法流量
创新发展选用"有级中合+膜滤出+减压蒸馏晶粒"技艺:
考试内容一级结合
:用CaO控制pH至4-5,添加硅酸钙析出,硅彻底清除率60%。
中级结合
:加Na₂CO₃将pH提高至9,逐渐一个脚印结晶剩下硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置机系统
:0.02μm陶瓷厂家膜过滤水奈米级硅粉末,通量保持稳定在80LMH。
MVR汽化器
:溶缩高盐废水处理方法,结晶体出Na₂SO₄副企业产品,水使用率超90%。
从而成果
总硅从1500mg/L低于5mg/L接下来
砷硫含量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
装置无水垢作业超越2年
每人每年出售盐酸钠单晶体约800吨