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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体设备集成块手工生产商在晶圆制作的过程 中,的使用硅烷去硅外加发育,空气洗衣机清洗塔生产高溶液浓度含硅废渣治理办法。废渣治理办法都具有pH动荡大(2-11)、硅分量高的基本特征,传统性治理办法易展现硅垢堵住了问题。 化工废水材料及主要来源 废气基本化学成分为: 降解性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 磷酸/氢氧化反应钠 :洗衣机清洗塔耐酸碱洗衣机清洗液余留 顆粒硅 :微米级SiO₂悬浊液 痕量砷 :材质其它杂物带 加工方法流量 创新发展选用"有级中合+膜滤出+减压蒸馏晶粒"技艺: 考试内容一级结合 :用CaO控制pH至4-5,添加硅酸钙析出,硅彻底清除率60%。 中级结合 :加Na₂CO₃将pH提高至9,逐渐一个脚印结晶剩下硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置机系统 :0.02μm陶瓷厂家膜过滤水奈米级硅粉末,通量保持稳定在80LMH。 MVR汽化器 :溶缩高盐废水处理方法,结晶体出Na₂SO₄副企业产品,水使用率超90%。 从而成果 总硅从1500mg/L低于5mg/L接下来 砷硫含量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 装置无水垢作业超越2年 每人每年出售盐酸钠单晶体约800吨

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