某半导生产加工品牌因晶圆进行维护清洁生产工艺引起含氨生活污水,需水量200吨/天。生活污泥里除化学需氧量外还具有刺激性氟化物和氢化物发生器血本属,清理一定的难度大。地区排出标准单位的要求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
焦化废水组成及來源
晶圆刷洗废气(一般源于):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工艺焦化废水:含少量铜、镍等天价属,pH值变化大
CMP碾磨污水:含硅颗粒物及挥发酚
办理工序鑫霖环保流程
利用"电化学滤渣+膜分离处理+折点氯化"组和加工过程:
预清理
:加药系统CaCl2除氟,管控pH在7.5-8.
超滤膜软件系统
:的还原0.01μm以上的科粒物
反构建提液
:将氟化物果汁至1000mg/L以下
折点氯化
:精准度管控氯添加量,将挥发酚变为为N2
化合物互相交换
:保障措施天价属不合格
以后治疗效果
高锰酸盐指数稳固<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属分子量不高于在线检测限
水循环率达75%
活性污泥诞生量减轻40%